CCC仪器外校

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传动链手段:交流电台达伺服电机体统 + 预动载荷高可靠性强，精密度冷空气的轴承

长精确测量整体:RENISHAW开花式光栅尺，判别比率为0.1μm

测头整体:雷尼绍掌握器、雷尼绍测头、雷尼绍测针

机 台:高导致精度(00级)山东白麻工作平台

采用室内环境:温度表表表(20±2)℃，空气湿度40%-70% ，温度表表表均值1℃/m，温度表表表变现 1℃/h

热空气压力差:0.4 MPa - 0.6 Mpa

废气联通流量:25 L/min

厚度准确度MPEe: ≤2.1+L/350 (μm)

测探球高精度MPEp: ≤2.1μm

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